■精度基准用语
• 移动量[单位: mm]
表示滑台面可动作的距离。(各产品页中，在行程中心位置进行图示。)
• 分辨率[单位: μm]
表示1个脉冲的信号对应的滑台的移动量。
1脉冲移动量(mm)＝滚珠丝杠导程(mm)×(马达步进角/360°)×( 1/n)
＊n表示1个脉冲的细分数。
可选择n＝1、2、2.5、4、5、8、10、20、25、40、50、80、100、125、200、250分配等16种类型。
可选用米思米驱动器MSDR24－MS来实现。不过由于滑台机械极限存在，建议最大n不超过20。
• MAX速度[单位: m/sec]
施加最大负载，使用MSCTL102/112(控制器)系列，通过Full步进设定可驱动的速度。
※因要使用的驱动件及控制器、施加的负载的不同，数值有所差异。
• 单方向定位精度[单位: μm]
测量仪器: 激光干涉测长仪
从基准点(行程端)在一个方向上以一定的间隔依次进行定位，在全行程内测量、计算各定位点的实测值(基准点到实
际移动的位置)和理论值(指令的实际应移动的位置)之间的差，将其最大差定义为单方向定位精度。
• 重复定位精度[单位: ±μm]
测量仪器: 激光干涉测长仪
在任意一点重复来自同一方向的定位7次，测量停止位置的偏移，计算该偏移最大差的1/2。
在行程中间和两端的3点重复该操作，将计算值的最大值定义为重复定位精度。
• 耐负载[单位: N]
以滑台面中间可施加的最大负载、以最大速度可驱动的数值。
• 力矩刚性[单位: ″/N·cm]
测量仪器: 自动准直仪
关于施加移动面的中心位置标示的力矩负载时的刚性，将间距、左右摇动、侧向滚动各方向
相应的每1N·cm的位移角定义为力矩刚性。
产品目录中记载的力矩刚性值为代表性实测值的标示值。
• 空转[单位: μm]
测量仪器: 激光干涉测长仪
进行正(或负)方向的定位，测量该位置(L1)。在相同方向上发出指令并使其移动，从该位置在负(或正)方向上发出同一
指令并定位，测量该位置(L′1)，然后在负(或正)方向上发出指令并使其移动，从该位置在正(或负)方向上发出同一指
令并进行定位，测量该位置(L2)。
在正方向和负方向上重复7次该测量，计算其平均值的差。
在行程中间和两端的3点重复该操作，将计算值的最大值定义为空转。
《空转测量值》
＝{1/7(L1＋L2＋L3＋···＋L7)－1/7(L′1＋L′2＋L′3＋···＋L′7)}Max
• 背隙[单位: μm]
测量仪器: 激光干涉测长仪
在任意方向进行定位，将该位置作为基准，在同一方向上向移动面施加规定的负载。
之后，将去除负载状态下测量的数值和基准位置的差定义为背隙。
• 直线度[单位: μm]
测量仪器: 直线度测量仪或千分表＋直尺
从基准点(行程端)在一个方向上以一定的间隔依次进行定位，在整个行程内测量各定位点的垂直、水平方向的直线
偏差，将距离该代表直线的最大差值定义为直线度。
• 平行度[单位: μm]
测量仪器: 位移计
在基准平面上固定滑台，在整个表面测量移动面与基准平面的平行度，将最大高低差定义为平行度。
• 运动的平行度[单位: μm]
测量仪器: 位移计
测量各定位点的基准平面与移动面上固定的测量仪器之间的位移，将其最大差定义为运动平行度。
• 垂直度[单位: μm]
测量仪器: 位移计、直角基准
在基准平面上切实固定XY滑台及直角基准，进行调整使任意一个移动轴的轨迹和直角基准平行，将另外的移动轴从
基准点(行程端)在一个方向上以一定的间隔依次进行定位，测量各定位点的直角基准和移动面上固定的测量仪器之
间的位移，将其最大差定义为垂直度。
• 运动的垂直度[单位: μm]
测量仪器: 位移计
将位移计贴紧直角基准，测量Z轴方向的数值。
每行程20mm的偏移不超过0.01mm。
• 上下摆动[单位: ″]
测量仪器: 自动准直仪
从基准点(行程端)在一个方向上以一定的间隔依次进行定位，在全行程内测量各定位点的间距(相对行进方向，前后
倾斜的方向)偏差，将其最大差值作为上下摆动。
• 左右摇动[单位: ″]
测量仪器: 自动准直仪
从基准点(行程端)在一个方向上以一定的间隔依次进行定位，在全行程内测量各定位点的左右摇动(相对行进方向，
要旋转的方向)偏差，将其最大差值作为左右摇动。
